红外干涉仪调试和测量技术的研究

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从干涉计量术方面对自行研制的移相式CO2红外激光干涉仪进行了研究并提供了精确定位红外光路的调试技术,应用该干涉仪对红外光学元件及系统进行了测量;最后,对本干涉仪的系统误差作了测试和分析。结果表明,本仪器系统误差优于λ/20(λ=10.6μm). From the aspects of interferometry, the self-developed CO2 phase shift infrared laser interferometer was researched and the debugging technology of accurately positioning the infrared light path was provided. The infrared optical element and system were measured by this interferometer. Finally, The system error was tested and analyzed. The results show that the instrument system error better than λ / 20 (λ = 10.6μm).
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