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通过国内外电子基础材料的对比，论述了困扰我国集成电路产业高速、稳定、可靠发展等诸类因素，提出只有地超大规模集成电路所用的电子基础材料的微观结构进行高冒险、高投资的研究和开发，才能使我国ＩＣ产业稳定、高速的发展和腾飞。
IC发展与基础材料
【摘 要】
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通过国内外电子基础材料的对比，论述了困扰我国集成电路产业高速、稳定、可靠发展等诸类因素，提出只有地超大规模集成电路所用的电子基础材料的微观结构进行高冒险、高投资的研
【机 构】
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西安微电子技术研究所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1997年6期
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