【摘 要】
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应用有限元分析方法研究了自重对轻型反射镜变形的影响,反射镜轻量化技术及关键材料,并研制出Φ630mm轻型熔石英反射镜;高温200℃、低温-40℃及5年时效对面形稳定性影响;轻型熔石英反射镜加工
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应用有限元分析方法研究了自重对轻型反射镜变形的影响,反射镜轻量化技术及关键材料,并研制出Φ630mm轻型熔石英反射镜;高温200℃、低温-40℃及5年时效对面形稳定性影响;轻型熔石英反射镜加工技术;轻型反射镜宽带高反射膜系及镀膜技术。利用上述技术研制出Φ300mm、Φ410mm、Φ470mm及Φ630mm球面及非球面熔石英轻型反射镜及平面反射镜。轻型反射镜减重达70%,Φ630mm轻型非球面反射镜仅重20.2kg。Φ470mm球面轻型反射镜加工后面形PV值0.117λ,RMS值0.024λ(λ∶632.8nm)。
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