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针对目前MEMS微加速度计机械和电路仿真各自脱节的现状，基于PSPICE软件，综合了敏感质量块机械、偏置电压静电力和接15／电路3部分，提出了机械与电学一体化仿真模型。模型实现了敏感质量块大位移情形仿真，突破了已有仿真模型对该质量块的中点小位移近似。利用该模型，得到大位移情况下加速度计能承受的最大阶跃和脉冲加速度信号值，经过与经典理论公式比较，误差小于3％。进一步，通过在不同偏置电压开环模式下灵敏度仿真与实验值的比较，当敏感质量块处于小位移状态时，误差小于5％；处于大位移状态，小于10％。因此，仿真模型与