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集成电路(IC)工厂设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位.防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用科学的方法,解决防微振问题.
IC工厂的防微振设计
【摘 要】
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集成电路(IC)工厂设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位.防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主
【机 构】
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中国电子工程设计院,北京,100840
【出 处】
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第十八届国际污染控制学术会议
【发表日期】
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2006年9期
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