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叙述了采用金属有机物钛酸四乙脂取代四氯化钛，运用ＰＣＶＤ外加法沉积Ｔｉ（ＣＮ）涂层，其显微硬度可达１６００ｋｇ／ｍｍ＾２，涂层结构仍为柱状晶。
等离子体金属有机物化学气相沉积碳氮化钛
【摘 要】
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叙述了采用金属有机物钛酸四乙脂取代四氯化钛，运用ＰＣＶＤ外加法沉积Ｔｉ（ＣＮ）涂层，其显微硬度可达１６００ｋｇ／ｍｍ＾２，涂层结构仍为柱状晶。
【机 构】
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青岛化工学院等离子体表面技术研究所,青岛化工学院等离子体表面技术研究所
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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1997年5期
【基金项目】
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本课题为山东省自然科学基金
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