近年来全无机钙钛矿Cs PbI3由于其优异光、热稳定性、理想的带隙宽度(1.73 eV,叠层太阳电池顶部电池的理想吸光材料)等受到了极大关注.然而,黑相Cs PbI3在室温下极易发生相变,导致其能量转换效率大幅下降.大量研究已经证实传统溶液法制备的黑相Cs Pb I3钙钛矿薄膜会不可避免地引入有机组分,这为探究纯无机Cs Pb I3本征物理性质及光电性能带来严重挑战.本文延续了前期气相沉积制备杂化钙钛矿薄膜的工作,利用双源气相沉积技术共蒸Pb I2和Cs I,制备出高质量的纯无机黑相Cs Pb I3薄膜.作者结合高通量实验和气氛退火工艺,优化了全无机Cs Pb I3化学计量比,并有效降低了薄膜缺陷态密度,实现电池效率大于16%,这是目前气相沉积纯无机Cs Pb I3获得的最高效率.同时,该工作详细阐明了Cs Pb I3薄膜中化学计量比、退火气氛及器件光电性能之间的密切联系,为进一步实现高效稳定纯无机Cs Pb I3电池提供了方向指引.