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采用磁控溅射法制备Ti、NdFeB薄膜,并研究分析了工艺参数对Ti薄膜及NdFeB磁性薄膜表面形态的影响.试验结果表明,在一定的工艺条件下,通过对基片的加热控制可以获得单一方向生长的柱状晶结构薄膜.随着溅射功率的提高,NdFeB薄膜的沉积均匀性降低.
工艺参数对Ti和NdFeB薄膜形态的影响
【摘 要】
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采用磁控溅射法制备Ti、NdFeB薄膜,并研究分析了工艺参数对Ti薄膜及NdFeB磁性薄膜表面形态的影响.试验结果表明,在一定的工艺条件下,通过对基片的加热控制可以获得单一方向生
【机 构】
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江苏大学材料科学与工程学院
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2005年5期
【基金项目】
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江苏省教育厅高校科研项目
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