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从探针、光谱分析、质谱、能谱等方面综述了等离子体化学中的诊断技术,并对等离子体诊断的最新进展作了简要的介绍.
等离子体化学中的诊断技术
【摘 要】
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从探针、光谱分析、质谱、能谱等方面综述了等离子体化学中的诊断技术,并对等离子体诊断的最新进展作了简要的介绍.
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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化工科技
【发表日期】
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2002年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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