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针对波导件精度高、上下异型、多腔一体的结构特点，分析了工艺实现难点，提出了慢走丝线切割加工上下异型腔体的工艺策略，探讨了结构复杂、具有多个上下异形腔体工件的线切割加工原理和关键问题，并就多腔整体加工的工艺路线进行了设计。加工零件的检测数据表明：一体化慢走丝线切割加工工艺路线和方法能实现上下异型、多腔一体波导件的高精度加工。