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实验用于高能量驱动的一种靶目前主要是Me-Mo阻抗匹配靶，即用已知高压状态方程数据的Mo标准材料与未知的待测材料Me相匹配成微靶，通过激光加载实验并计算Me材料的p（V）曲线，近而获取Me的状态方程数据。目前，微米级厚的Mo薄膜可以通过机械（化学）抛光的方法获得，但过程可控性不强，终态薄膜的有效使用面积小。另一种途径是采用物理气相沉积（PVD）制备Mo薄膜。