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综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法，主要包括溅射法（磁控溅射法和等离子体溅射法）、化学气相沉积法（等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法）和化学合成法（氨解法、原位热解法和氮化物氧化法）三大类，并总结了常用的溅射法和化学气相沉积法合成技术参数。
过渡金属氮氧化物制备方法的研究进展
【摘 要】
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综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法，主要包括溅射法（磁控溅射法和等离子体溅射法）、化学气相沉积法（等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积
【机 构】
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2012年9期
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