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期刊论文
压阻式微机械陀螺接口电路的数学原理
压阻式微机械陀螺接口电路的数学原理
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cjjelly
【摘 要】
:
压阻式微机械陀螺是MEMS研究的重要方向之一,有效的接口电路是发挥陀螺性能的重要保证。用数学方法完整地推导了陀螺驱动和信号检测的内在机理,并据此设计了一种简单的压阻式陀螺接口电路。接口电路的最小分辨力为0.33°/s。测量结果证明了数学推导的正确性。
【作 者】
:
陈雪萌
李昕欣
王跃林
焦继伟
杨恒
刘民
【机 构】
:
中国科学院
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2005年08期
【关键词】
:
微机械陀螺
压阻
接口电路
数学推导
MEMS gyroscope
piezoresistance
interface circuit
mathem
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压阻式微机械陀螺是MEMS研究的重要方向之一,有效的接口电路是发挥陀螺性能的重要保证。用数学方法完整地推导了陀螺驱动和信号检测的内在机理,并据此设计了一种简单的压阻式陀螺接口电路。接口电路的最小分辨力为0.33°/s。测量结果证明了数学推导的正确性。
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