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900V超结VDMOS的设计
900V超结VDMOS的设计
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asa333
【摘 要】
:
超结MOSFET具有优越的静态直流特性。在已有成功设计600 V超结VDMOS经验的基础上,提出了相应的工艺方法。利用TCAD仿真软件,对主要的工艺参数和器件电学参数进行仿真优化,得
【作 者】
:
胡涛
李泽宏
张波
【机 构】
:
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2011年02期
【关键词】
:
超结
VDMOS
功率MOSFET
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超结MOSFET具有优越的静态直流特性。在已有成功设计600 V超结VDMOS经验的基础上,提出了相应的工艺方法。利用TCAD仿真软件,对主要的工艺参数和器件电学参数进行仿真优化,得到击穿电压为929 V、比导通电阻为23.67 m Ω·cm2的超结VDMOS。
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