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叙述了光刻技术在微电子、光学仪器制造中的发展情况,同时,介绍了近几年发展起来的立体光刻原理。
光刻技术综述
【摘 要】
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叙述了光刻技术在微电子、光学仪器制造中的发展情况,同时,介绍了近几年发展起来的立体光刻原理。
【机 构】
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浙江大学光科系310027杭州玉泉
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1992年3期
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