双面研磨机结构分析与盘面修整工艺的研究

来源 :机械研究与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:CHJ2000
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介绍了蓝宝石衬底片双面研磨机的加工原理以及其行星传动结构,并对这种结构做了相应的数学分析。而且对磨盘盘面的修正原理做了简单的介绍。并给出了四种不同盘面形状的修正参数。
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