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采用化学溶液法在 SiC/Si 上制备了YMnO3 薄膜.XRD 结果显示所制备的薄膜为六方YMnO3,且具有部分择优取向生长.拉曼光谱和XPS的结果验证了样品为六方纯相YMnO3.以 Pt 为顶电极,测试了 YMnO3 薄膜的电滞回线,结果显示YMnO3 薄膜具有良好的铁电性质.
SiC／Si上六方YMnO3薄膜的制备和铁电性能
【摘 要】
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采用化学溶液法在 SiC/Si 上制备了YMnO3 薄膜.XRD 结果显示所制备的薄膜为六方YMnO3,且具有部分择优取向生长.拉曼光谱和XPS的结果验证了样品为六方纯相YMnO3.以 Pt 为顶电
【机 构】
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河南大学物理系微系统物理研究所、河南省光伏材料重点实验室,河南大学基础实验教学中心
【出 处】
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硅酸盐通报
【发表日期】
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2010年4期
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