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窄带滤光片是应用于光谱学、激光、天文物理学、通信等各个领域的光学组件,精确控制每一层膜厚是制备滤光片的困难所在.采用光学极值法直接监控工件,可以同时制备多件滤光片.设计了监控光路和信号获得电路,通过探测到的测试信号,监控薄膜膜厚,实现了直接监控.
窄带滤光片光学极值法直接监控的光学设计
【摘 要】
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窄带滤光片是应用于光谱学、激光、天文物理学、通信等各个领域的光学组件,精确控制每一层膜厚是制备滤光片的困难所在.采用光学极值法直接监控工件,可以同时制备多件滤光片.
【机 构】
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河南工业职业技术学院电气工程系,西安工业大学光电工程学院
【出 处】
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西安工业大学学报
【发表日期】
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2008年4期
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