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利用CF_4等离子体制作高开口率TFT-LCD(英文)

来源 :液晶与显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ssjspace

【作 者】

：

金奉柱  崔瑩石  劉聖烈  張炳鉉  柳在一  李禹奉  李貞 

【出 处】

：

液晶与显示

【发表日期】

：

2006年10期

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