【摘 要】
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<正> [主要目录]总论,有关特气的产业动向(半导体、光导纤维及特气和细陶瓷的产业动向),有关特气的生产、进口(生产、进口的现状),消费(在半导体制造工序中及在光导纤维生产
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<正> [主要目录]总论,有关特气的产业动向(半导体、光导纤维及特气和细陶瓷的产业动向),有关特气的生产、进口(生产、进口的现状),消费(在半导体制造工序中及在光导纤维生产中的消费),容器等(填充容器、容器附件、压力调节器),贮存(特气生产厂和消费地的贮存,以及由圆筒贮罐的贮存和消费),输送(在工厂外和企业内的输送),漏泄探测及除害(特气探测警报器,除害装置),紧急情况下的处置、安全管理措施(关于紧急时的处理,特气消费时的安全管理措施)、法规、物性等(有关特气的法规、特气的灾害事例,特气等对生体的危害作用,特气等的物理化学性质,以及可用于特气的材料)。
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