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楔形误差补偿技术是双面光刻机中的关键技术之一，它使基片表面和掩模电路图形表面形成2个平行平面，提供给对准工作台进行对准操作。对涉及该技术的气浮轴承设计、小孔截流技术、材料的选择、加工及处理等作了详细的论述。
一种应用于双面光刻机中的楔形误差补偿技术
【摘 要】
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楔形误差补偿技术是双面光刻机中的关键技术之一，它使基片表面和掩模电路图形表面形成2个平行平面，提供给对准工作台进行对准操作。对涉及该技术的气浮轴承设计、小孔截流技术
【机 构】
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中国电子科技集团公司第45研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年4期
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