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介绍了一套基于相位冲突图的生成和处理的新方法，可以准确、全面地对由传统方法设计的标准单元版图(暗场)进行检查．基于此方法的软件工具能够检查标准单元版图，找出不符合交替移相掩模设计要求的图形，并给出相关的修改建议．实验结果证实了该工具的有效性。
一种用于标准单元版图交替移相掩模相位兼容性规则检查的工具
【摘 要】
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介绍了一套基于相位冲突图的生成和处理的新方法，可以准确、全面地对由传统方法设计的标准单元版图(暗场)进行检查．基于此方法的软件工具能够检查标准单元版图，找出不符合交替移
【机 构】
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浙江大学超大规模集成电路设计研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年5期
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