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本系统用于大尺寸物体(如冷轧钢板)表面缺陷的在线检测。表面检测质量的主要因素是光学系统的设计方案。选用抛物柱面镜装置的特点是检测线上所有的点构成匀速恒定的检测状态。而对大尺寸物体表面缺陷的在线检测,F·θ型式扫描系统是不能满足扫描要求的。
抛物柱面镜扫描系统设计
【摘 要】
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本系统用于大尺寸物体(如冷轧钢板)表面缺陷的在线检测。表面检测质量的主要因素是光学系统的设计方案。选用抛物柱面镜装置的特点是检测线上所有的点构成匀速恒定的检测状态
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1993年1期
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