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研究Ｘ射线及超高真空退火对发光多孔硅膜发光特性的影响。通过光电子谱原位检测分析，发现Ｘ射线辐照及真空退火均可使发光多孔硅膜失去发光能力，同时伴随着Ｓｉ２ｐ光电子峰高结合能部分有较大的下降。根据实验结果认为：发光多孔硅中的发光物质为含氟缺氧的二氧化硅。
超高真空退火及X射线辐照对多孔硅发光膜的影响
【摘 要】
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研究Ｘ射线及超高真空退火对发光多孔硅膜发光特性的影响。通过光电子谱原位检测分析，发现Ｘ射线辐照及真空退火均可使发光多孔硅膜失去发光能力，同时伴随着Ｓｉ２ｐ光电子峰高结合能部分有
【机 构】
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浙江大学高纯硅国家重点实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1995年5期
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