【摘 要】
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采用磁控射频(RF)与磁控直流(DC)分别溅射金属铝靶,制备了润滑RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层,并在真空条件下对制备涂层进行热处理以提高涂层耐磨损性能.结果 表明,R
【机 构】
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浙江工贸职业技术学院材料工程系 温州325003吉林大学材料科学与工程学院 长春130022;
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采用磁控射频(RF)与磁控直流(DC)分别溅射金属铝靶,制备了润滑RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层,并在真空条件下对制备涂层进行热处理以提高涂层耐磨损性能.结果 表明,RF-Al-Ti/MoS2复合涂层中S/Mo原子比为1.55,有利于MoS2 (002)面的形成,涂层平均摩擦系数低至0.1;由于RF-Al-Ti/MoS2复合涂层原子沉积效率更大,导致涂层结构致密,且RF-Al-Ti/MoS2复合涂层中Al原子含量高,有利于提升涂层抗氧化能力及耐磨损性能.对RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层进行真空热处理,Ti和Al间扩散形成Ti-Al中间相进一步提升了涂层抗氧化性能,DC-Al-Ti/MoS2复合涂层磨痕形貌显示其耐磨损能力得到了明显提升;经500℃处理后,RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层平均摩擦系数分别降低至0.08和0.07.总体上,射频溅射更有利于提升Al-Ti/MoS2复合涂层摩擦学性能.
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