疏松热解碳镀层工艺的研究

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一、前言热解碳是某些碳氢化合物气体在高温基体表面热分解沉积而成。采用不同的碳氢化合物气体(甲烷、丙烯、乙炔等)和不同的工艺条件(沉积温度和碳氢化合物气体浓度),可以获得不同结构的热解碳,不同结构的热解碳具有不同的特性,因而被广泛地应用于航天工业、 First, the preface Carbon pyrolysis is the decomposition of certain hydrocarbon gases deposited on the surface of high temperature substrate. Pyrolytic carbon of different structures can be obtained by using different hydrocarbon gases (methane, propylene, acetylene, etc.) and different process conditions (deposition temperature and hydrocarbon gas concentration). Pyrolytic carbons of different structures have different characteristics , Which is widely used in aerospace industry,
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