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等离子体作为物质第四态,在宇宙中普遍存在 .等离子体对表面材料、半导体材料的生成和制备提供了良好的环境,与之相关的等离子体状态诊断研究也显得非常重要 .
等离子体过程诊断与应用
【摘 要】
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等离子体作为物质第四态,在宇宙中普遍存在 .等离子体对表面材料、半导体材料的生成和制备提供了良好的环境,与之相关的等离子体状态诊断研究也显得非常重要 .
【机 构】
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保定师范专科学校物理系
【出 处】
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保定师范专科学校学报
【发表日期】
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2004年2期
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