【摘 要】
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2009年3月26日,科技部召开国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”推进会,这标志着该专项进入全面实施阶段。科技部、国家发改委、财政部、工业与信息化部
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2009年3月26日,科技部召开国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”推进会,这标志着该专项进入全面实施阶段。科技部、国家发改委、财政部、工业与信息化部、中科院、北京市和上海市政府等专项领导小组成员单位负责人出席会议,科技部部长万钢讲话。“极大规模
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