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Electrostatic Actuating Bendable Flat Electrode for Micro Electrochemical Machining
【机 构】
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HarbinInstituteofTechnology（Shenzhen）
【出 处】
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纳米技术与精密工程（英文）
【发表日期】
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2018年2期
【基金项目】
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This work was supported by the National Natural Science Foundation of China （Grant No. 51105110, 51475107）, and Shenzhen Basic Research Program （Grant No. JCYJ20170811160440239）.
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