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介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用.硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用.硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发.
硅尖的制备及在传感器技术中的应用
【摘 要】
：
介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用.硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用.硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得
【机 构】
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厦门大学
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
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2003年6期
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