论文部分内容阅读
在羟基化Si（111）表面制备十八烷基三氯硅烷（OTS）自组装单分子膜，利用AFM机械刻蚀技术，通过自编程序设计针尖走向，以金刚石针尖作为加工工具，在OTS自组装单分子膜的Si（111）表面刻蚀不同结构的纳米图案，通过预设针尖移动距离和扫描头Z向位移等参数控制纳米结构的大小和深度．结果表明：利用原子力显微镜（AFM）机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜的Si（111）表面加工出大小、深度可控的纳米图案，其中载荷与加工深度基本呈线性关系；所获得的纳米图案结构清晰，刻蚀试验的重复性较好；经过刻蚀后的图案化区域为