基于单片机的自动真空测控系统研究

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传统真空镀膜机的测量控制系统结构复杂、工作可靠性差、故障率高。用以16位单片机为核心的真空自动测量控制系统更新原控制系统后,对真空度、冷却水温、加热电流及各工作状态能进行实时测量,自动控制真空工作的全过程,能检测故障并自动采取相应的对策。实际应用结果表明,该控制系统是有效的。
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