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针对光学玻璃磨削加工中出现的加工困难、工件表面质量较差以及工件内部损伤严重等问题,提出超声振动辅助加工方法对BK7玻璃进行刻划,研究超声振动功率、刻划速度和刻划深度对亚表面裂纹的影响规律。研究结果表明:超声刻划相比于普通刻划,亚表面裂纹深度最大下降了19.7%;随着刻划速度的增大,刻划后沟槽底部的亚表面裂纹最大深度逐渐增大;随着沟槽截取深度的增加,亚表面裂纹最大深度整体上呈逐渐上升的趋势并出现明显的分级情况。