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采用射频磁控溅射法，分别以聚四氟乙烯（PTFE）和锌为靶，在聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）基底上沉积氟碳（F℃）膜以及FC／ZnO的有机-无机纳米杂化材料。用SEM、UV、XPS对氟碳膜和杂化材料进行了表征。结果表明，氟碳膜形成了一种由纳米粒子-纳米孔洞组成的双纳米结构，随着Zn0沉积时间的不同，脱n0杂化膜呈现出不同的表面形貌，杂化膜的生长模式是一种依附于有机核的沉积。扩张生长模式；杂化材料的F／C较低，随着氧化锌沉积时间的增加，F／C出现逐渐增大的趋势；杂化膜是一种多重抗紫外线辐射的功能膜。