场致发射硅尖阵列的研制

来源 :北京理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：swan159357

【摘要】

：

研究真空微电子器件场致发射硅尖阵列的制作工艺.利用HNA湿法腐蚀工艺制作场致发射硅尖阵列,比较带胶腐蚀与不带胶腐蚀的不同.采用氧化削尖技术对硅尖进行锐化处理.制作了50&

【作者】

：

吴海霞仲顺安李文雄邵雷鲁雪峰

【机构】

：

北京理工大学

【出处】

：

北京理工大学学报

【发表日期】

：

2003年5期

【关键词】

：

真空微电子器件湿法腐蚀场致发射阴极阵列硅尖 vacuum microelectronic deviceswet etchingfield-emission

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

研究真空微电子器件场致发射硅尖阵列的制作工艺.利用HNA湿法腐蚀工艺制作场致发射硅尖阵列,比较带胶腐蚀与不带胶腐蚀的不同.采用氧化削尖技术对硅尖进行锐化处理.制作了50×60硅尖阵列,同时给出了硅尖阵列的I-V特性.利用HNA湿法腐蚀制备的硅尖结构与理论分析一致,锐化处理改善了硅尖阴极阵列的场致发射特性.

其他文献

布票

大队那儿有小卖部，是大队办的。离家里有十几里地，总共要翻四座大山，八条沟壑。小时候总爱往那里跑，当然是恋着那里的糖果。每逢有上几分一毛的，都值得跑上一次，

期刊

生活经历人生经历人生境遇人生感悟

四元探测仿真系统中实时信号传输与采集

研究四元探测仿真信号源系统中基于PCI总线的实时信号传输与采集的硬件系统.该硬件系统采用PCI协议接口芯片S5933,系统时序生成采用复杂可编程逻辑器件(CPLD),设计成PCI卡,可

期刊

PCI总线四元探测仿真系统信号采集信号传输红导引头CPLD电路设计simulation PCI bus complex programmable

降价观测器存在条件及在故障检测与诊断中的应用

研究含有广义未知输入的线性系统降价观测器存在条件.利用广义逆矩阵并构造辅助系统,将降价观测器的存在条件转化为判断辅助系统的可镇定性.通过将含有未知输入的线性系统化

期刊

降价观测器线性系统故障检测故障诊断未知输入广义逆矩阵可镇定性reducedorder observer linear system fault d

洗发废水总程平衡治理技术的应用研究

将总程平衡技术应用于洗发废水处理，其原理是将生产过程中产生的各种废水根据COD的大小和生产工序的性质分成A、B、C三类，C类水直接作为B类进水；B类水经简单处理作为A类进水；A类

期刊

总程平衡洗发废水水处理total equilibrium technique shampooing wastewater water treatment

营改增后水电工程简易计税项目税金计算研究

营改增全面落地与实施后,大中型水电工程因建设周期较长,导致大量项目跨越营业税和增值税两种主体税。在营业税和增值税两种税制下,项目计价方式存在一定差异,导致税金计算方

期刊

营改增水电工程简易计税税金计算replacing business tax with VAThydropower projectssimple taxa

社区要把服务老人放在首位

现今，随着银发浪潮的到来和生活快节奏，家庭结构的小型化和“空巢家庭”越来越多，如何建立和完善老年人的护理照料体系，已成为社区面临的一个重大课题。

期刊

社区工作社会工作老年人家庭结构

新型干法水泥技术定义引发行业热议

继天津举行的第二代新型干法水泥技术研发领导小组第一次工作会议之后，在中国水泥协会第七次会员代表大会上，乔龙德会长再次强调指出：“水泥工、他的新发展其最根本、最关键、最

期刊

水泥技术干法行业引发定义会员代表大会水泥工业第二代

隐喻的施喻者主观性研究

隐喻是一种思维方式和认知工具,借喻体的某一或某些特征来理解本体,本体和喻体之间的相似性不一定是客观存在的,而是认知主体感受的心理相似性。隐喻不是命题的＂客观表述＂,而是

期刊

隐喻主观性隐喻建构

PPP项目运作模式及机制创新研究——以北京2022年冬奥会延庆赛区项目为例

以北京2022年冬奥会延庆赛区政府和社会资本合作(PPP)项目为例,对该项目运作模式的机制创新进行了深入探讨和分析。对该模式存在的制约因素进行了阐释并提出解决对策,总结剖

期刊

冬奥会PPP三标合一机制创新Winter OlympicsPPPthree standards in onemechanism innovation

如何进行窑系统优化验证工作

节能减排是我国可持续发展的重大战略决策,是坚持和落实科学发展观,构建社会主义和谐社会的必然要求。国家《＂十二五＂节能减排规划》的基本原则是：强化约束,转型倒逼;源头控制,

期刊

验证工作环境友好型社会优化窑系统科学发展观节能减排国内生产总值可持续发展

场致发射硅尖阵列的研制

与本文相关的学术论文