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快速膨胀超临界流体溶液（ＲＥＳＳ）过程和以超临界流体为稀释膨胀剂（ＧＡＳ）过程是制备微细颗粒的新技术。本文着重分析了用ＲＥＳＳ和ＧＡＳ过程制备微细颗粒的特点及影响因素，介绍了在高分子聚合物、无机盐、陶瓷材料、有机物、药物及含能材料方面的应用，提出超临界流体沉淀技术将成为制备特殊细颗粒材料、超薄膜及提纯热敏性、易氧化物质的有效手段。