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采用慢电子束测量MBE生长的GaAs薄膜表面缺陷...
采用慢电子束测量MBE生长的GaAs薄膜表面缺陷...
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq330525312
【摘 要】
:
用慢正电子束测量了三种不同生长工艺的MBE GaAs薄膜。结果表明,正电子束发射产额参数F_L能反映薄膜的缺陷状况,结晶完整性差的薄膜其F_L值也较低。同时还发现,掺Si的n型GaAs
【作 者】
:
何元金
戴伦
梁基本
孔梅影
【机 构】
:
清华大学现代应用物理系,中国科学院半导体所,中国科学院半导体所北京100084,北京100083
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1991年6期
【关键词】
:
分子束外延
测量
GaAs薄膜
缺陷
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用慢正电子束测量了三种不同生长工艺的MBE GaAs薄膜。结果表明,正电子束发射产额参数F_L能反映薄膜的缺陷状况,结晶完整性差的薄膜其F_L值也较低。同时还发现,掺Si的n型GaAs在约600℃显著分解,该温度明显低于本征GaAs梓品开始分解的温度。
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