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微马达是微电子机械系统(MEMS)的核心器件之一,其体积的大小和性能的优劣将直接影响MEMS的总体品质.本文详细论述了直径1mm超微马达的设计思想,并提出将遗传算法应用于超微马达的参数设计.马达运行结果表明其性能指标与设计基本相符,证明遗传算法在微马达参数设计中应用是切实可行的.
直径1mm电磁型实用超微马达的设计
【摘 要】
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微马达是微电子机械系统(MEMS)的核心器件之一,其体积的大小和性能的优劣将直接影响MEMS的总体品质.本文详细论述了直径1mm超微马达的设计思想,并提出将遗传算法应用于超微马
【机 构】
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上海交通大学信息存储中心国家教委薄膜与微细技术开放实验室
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2004年期
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