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为解决气压较低时，由扩散控制的击穿模型计算出的微波击穿电场误差较大甚至与实验趋势不符的问题，提出了用等效特征扩散长度计算击穿电场的方法。该方法将实际特征扩散长度与电子平均自由程结合起来，使得电子碰撞几率有较高的值，以满足击穿模型在低气压下的使用要求。分析等效特征扩散长度与击穿阈值的关系，得出了等效特征扩散长度的表达式，并依此计算了平板系统中空气的微波击穿电场。用该方法所得的计算结果在趋势和数值上都与实验结果相符，当频率为 0.994 GHz，电极间隙1.98 cm，气压 6.65 Pa 时，计算误差仅是采