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扫描探针显微术是微观表面探测的关键技术,而多维定位系统是其重要组成部分.介绍了扫描探针显微技术中典型纳米级定位系统的结构、组成及其驱动技术,如压电驱动、静电驱动以及磁悬浮驱动等,分析了柔性支承微动机构的设计,并对本领域的研究热点和发展方向进行了总结和探讨.
用于SPM技术的多维纳米定位系统
【摘 要】
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扫描探针显微术是微观表面探测的关键技术,而多维定位系统是其重要组成部分.介绍了扫描探针显微技术中典型纳米级定位系统的结构、组成及其驱动技术,如压电驱动、静电驱动以
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2006年4期
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