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讨论了微型半球陀螺仪特有的一些误差源，主要有感测电路上的量测误差、电极与薄壳间电容的非线性效应误差、温度变化所引发的热漂移、线加速度所引发的误差以及非对称结构和非对称阻尼误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。
微型半球陀螺仪的误差源研究
【摘 要】
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讨论了微型半球陀螺仪特有的一些误差源，主要有感测电路上的量测误差、电极与薄壳间电容的非线性效应误差、温度变化所引发的热漂移、线加速度所引发的误差以及非对称结构和非
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院,南京工业大学机械与动力工程学院
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2007年1期
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