【摘 要】
：
本文采用化学气相沉积(CVD)方法,利用平板式外延炉,在5英寸<111>晶向,2×10-3Ω·cm重掺As衬底上,生长N/N+型硅外延片;试验中采用电容-电压方法,利用汞探针CV测试仪,通过金属
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十六研究所
论文部分内容阅读
本文采用化学气相沉积(CVD)方法,利用平板式外延炉,在5英寸<111>晶向,2×10-3Ω·cm重掺As衬底上,生长N/N+型硅外延片;试验中采用电容-电压方法,利用汞探针CV测试仪,通过金属汞与硅外延片表面接触形成肖特基势垒,测试势垒电容并转换为外延层载流子浓度和电阻率,实现对外延层电阻率的测量。在此过程中,我们采用H2O2水浴处理硅外延片表面,形成10~15?的氧化层,并对比分析了氧化温度、氧化反应时间、H2O2浓度对电阻率测试结果的影响。
其他文献
教师的职业有着特殊的道德要求,这些道德要求中,教师与学生关系中的道德要求受到了相当大的关注.在教师与学生的关系中,教师需拥有科学的学生观,在突出学生的主体作用、关注
针对深部煤炭开采产生的地压大、巷道围岩变形剧烈、冲击地压强度和频率增加等问题,冀中能源集团从千米深井充填开采的矿压显现规律研究入手,设计开发了具有密实推压功能的充
在含有瓦斯的煤矿井下和其他隧道工程中使用普通电子仪器是非常危险的 ,由此可引起矿井瓦斯爆炸 ,造成严重安全事故。文章较详细地介绍了本安型SET5F防爆全站仪的研制过程 ,
改革与创新合唱指挥教学,对于促进合唱指挥教学水平的提升具有重要意义。本文首先分析了当前合唱指挥教学中存在的主要问题,然后对症下药,对如何改革与创新合唱指挥教学提出
银川作为自治区首府,承担着“建设和谐富裕新宁夏,与全国同步进入全面小康社会”的特殊历史重任.区情、市情决定着只有实现银川新跨越,才能带动宁夏新发展.事实证明:坚持不懈
对执行药品经营质量管理规范(GSP)认证标准时存在的问题进行分析,并提出修订建议。
文章通过中国环境艺术的系统化设计内涵及方法论的研究,从设计角度出发,对中国环境艺术设计的现状做出了明确的总结并且提出对于中国环境艺术设计在未来的展望,从此达到人与