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介绍了用离子束增强沉只法制备立方氮化硼薄膜的主要研究单位及其研究内容和获得的结果。
离子束增强沉积立方氮化硼薄膜的研究进展
【摘 要】
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介绍了用离子束增强沉只法制备立方氮化硼薄膜的主要研究单位及其研究内容和获得的结果。
【机 构】
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中国科学院空间中心
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1998年1期
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