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介绍了近年来发展的纳米云纹法及其新的应用.这些方法是基于原子力显微镜、扫描隧道显微镜和透射电子显微镜的原理提出来的.纳米云纹法能够对物体的微/纳观变形提供定量的分析.详述了这些方法的测量原理和实验技术,并进行了新的应用研究.实验结果论证了这些方法的可行性,并证实了这些方法具有纳米级的位移测量灵敏度.