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用浸没的湿法刻蚀方法,以熔石英为基板刻蚀材料,用优化配方的HF刻蚀液进行刻蚀,研究了HF刻蚀一维光栅台阶的斜坡陡度.分析了台阶斜坡陡度的理论值,并给出了其实验结果值,最后分析了影响刻蚀斜坡陡度的一些因素.
湿法刻蚀熔石英斜坡陡度的研究
【摘 要】
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用浸没的湿法刻蚀方法,以熔石英为基板刻蚀材料,用优化配方的HF刻蚀液进行刻蚀,研究了HF刻蚀一维光栅台阶的斜坡陡度.分析了台阶斜坡陡度的理论值,并给出了其实验结果值,最后
【机 构】
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陕西理工学院
【出 处】
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汉中师范学院学报(自然科学)
【发表日期】
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2004年3期
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