【摘 要】
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研究了半导体CdTe薄膜不同阴极电沉积条件(搅拌、加温)下,沉积电位与电流密度、沉积速率的关系。着重研究了沉积电位对CdTe膜层成份及导电类型的影响,通过控制沉积电位制备了不同导电类型
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研究了半导体CdTe薄膜不同阴极电沉积条件(搅拌、加温)下,沉积电位与电流密度、沉积速率的关系。着重研究了沉积电位对CdTe膜层成份及导电类型的影响,通过控制沉积电位制备了不同导电类型的半导体CdTe薄膜。对沉积膜形貌和结构分析表明,室温搅拌条件下沉积的CdTe薄膜,整体均匀性好,呈非晶结构,氮气氛中高温退火后,CdTe膜沿一定方向有较明显取向。
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