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利用晶体双折射和由散射偏振引起的光学干涉技术 ,设计出一种高精度光学位移传感器 该传感器采用同轴光学系统 ,测量精度约为 4 μm ,测量范围不小于 2 8mm ,且测量时不需要使用相干光源 ,故结构紧凑、性能稳定
一种高精度光学位移传感器的设计分析
【摘 要】
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利用晶体双折射和由散射偏振引起的光学干涉技术 ,设计出一种高精度光学位移传感器 该传感器采用同轴光学系统 ,测量精度约为 4 μm ,测量范围不小于 2 8mm ,且测量时不需要使用相干光源 ,故结构紧凑、性能稳定
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2003年07期
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