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随着微电子机械系统（MEMS）的迅速发展，其工程实际问题：比如微型马达、微型轴承中的流动与传热，已经成为研究的热点。探讨了一种在微电子机械系统中常见的流动系统库埃特流（Couette Flow）。从N—S方程、傅立叶导热定律、理想气体状态方程出发，建立起相应的数学模型。并采用广义微分积分方法（GDQ）来进行数值模拟。最后用蒙特卡洛直接模拟方法（DSMC）来验证，并将两者的数值结果加以分析和比较，新建理论模型的模拟结果与DSMC模拟结果基本吻合。该理论模型能用来模拟滑移区和过渡流动区的气体流动，采用的GDQ