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高稳定、高精度、小型化传感器发展的新趋势
高稳定、高精度、小型化传感器发展的新趋势
来源 :遥测遥控 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wsd988
【摘 要】
:
新工艺新功能材料与微电子技术是传感器发展的三大基础技术。本领域的主要关键技术是有限元分析计算软件与CAD设计系统,异型构件的坯件制造、精密微细加工技术,新的联结与封装技术等几个方面,简介了若干实例。
【作 者】
:
宋宗炎
【机 构】
:
航空航天工业部七0四所
【出 处】
:
遥测遥控
【发表日期】
:
1990年04期
【关键词】
:
传感器
微细加工
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新工艺新功能材料与微电子技术是传感器发展的三大基础技术。本领域的主要关键技术是有限元分析计算软件与CAD设计系统,异型构件的坯件制造、精密微细加工技术,新的联结与封装技术等几个方面,简介了若干实例。
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