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在各等离子体中微波等离子体有电离度高，电子密度高等优良性能，其性能使微波等离子体的应用越来越广泛。微波等离子体相关参数的诊断研究也逐渐得到人们的重视。文章介绍了微波等离子体的探针诊断技术，设计了一个双探针自动诊断系统，其中ICL8083芯片作为信号发生器（产生三角波和方波），高度集成化的ADUC845芯片作数据处理器并接入计算机，经扫描采样得到离子密度波形和电压波形，取得了较好的实验结果。